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		射频/溅射电源
	
          
          

          


          
		
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		MSD系列溅射电源
	
          

          


          


                   
           
          
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           MSD系列溅射电源
          
                            
          
                        
          
                                                                
          
                            
          
                                MSD系列直流溅射电源采用公司最核心的直流控制系统结合优异的弧光处理方案，从而使产品具有非常稳定的性能，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作简便。
                            
          
                        
          
                                      
                    
          
                                                    
          
                                
          
                                    
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                                            产品系列:                                        
          
                                    
          
                                    
          
                                        
          
                                            MSD系列
                                            
                                        
          
                                    
          
                                
          
                                                                                                                
          
              
                    
              
              
              
              
              
              
                    
                    
          
                    
                    
                    
          
                        
          
                            
          
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          所属分类
          
                            
          
                                                                                    
                                
          
                                    
           溅射电源
          
                                
          
                                      
                        
          
                                        
                                                                                                    
          
                                            
          
                                                                                                    
                    
          
                        
          
                            
          
                                
                            
          
                        
          
                        
                        
          
                            
          1
          
                        
          
                        
                    
          
                    
                
          
                
            
            
            
          
              
					
					
				
          
            
            
            
          
            
          

            
          
                
                
          
                    
                    
          
                        
          
                            
          产品描述
          
                        
          
                    
          
                    
                    
          
                        
          
                            
          参数
          
                        
          
                    
          
                                            
          
                            
          
                                
          
                                    型号定义
                                
          
                            
          
                        
          
                                            
          
                            
          
                                
          
                                    主要参数
                                
          
                            
          
                        
          
                                    
          
                
                
                
          
                    
                    
          
                        

                                                    
          
                                
          ● 机架式安装方式
          


          ● 快速的电弧响应，响应时间＜100ns
          


          ● 底能量储存，＜1mJ/kW
          


          ● 紧凑的安装结构，3U标准机箱
          


          ● 中/英文显示界面，操作便捷
          


          ● 精密的控制
          


          ● 宽范围的输出
          


          ● 完善?；すδ?/p>

                            
          
                                                
                                                
                        
                                                    
          
                                                                
          
                                    
          
                                        扫二维码用手机看                                    
          
                                
          
                                                                
          
                            
          
                                            
          
                    
                    
          
                        
                                                    
          
                                
          
                                    
          
                                        
                                        
          未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
          
                                    
          
                                
          
                            
          
                                            
          
                    
                    
                                            
          
                            
          
                                
          
                                    
                                
          
                            
          
                        
          
                                            
          
                            
          
                                
          
                                    
          
	
		
          
			
			
          输入
          
			          		
			
			
          输入电压：3ΦAC380V±10%
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          功率等级：20kW、30 kW
          

			
          输入电源频率：50Hz/60Hz
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          输出
          
			          		
			
			
          最大输出电压：800V
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          最大输出电流：50A、75A
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          输出电流纹波：≤3% rms
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          输出电压纹波：≤2% rms
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          技术指标
          
			          		
			
			
          点火电压：1000V/1200V可选
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          转换效率：95%
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          电弧关断时间：＜100ns
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          通讯接口：标配RS485/RS232(可选配Profibus、ProfiNet、DeviceNET、EtherCAT)
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          尺寸（H*W*D）mm：132*482*560：176*482*700
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          冷却方式：风冷
          
			          		
		
          
		
          
			
			
          注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。
          
			          		
		
          
	          

          

                                
          
                            
          
                        
          
                                    
          
                
                
          
                                                                
          
                            
          
                                
          上一个
          
                            
          
                                                            
          
                                    
          无
          
                                
          
                                                    
          
                                                            
          
                        
          
                            
          下一个
          
                        
          
                                                    
          
                                
          无
          
                            
          
                                            
          
                
          
            
          
            
            
          
                
          
                
          
                    
          
                        
          
                            
          
                                
                            
          
                        
          
                    
          
                    
          
                    
          
                
          
            
          
            
        
          
        
        
          
    
          
            
    
          
        
        
    

          




    

    

                 
            
                 
            
                 
            
             
                   
                 
            
          




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